DHPS 系列 直流濺射等離子體實(shí)驗(yàn)裝置
本系列實(shí)驗(yàn)裝置是一款緊湊型等離子薄膜濺射儀，專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)為在基底上鍍上金屬膜，如金，鉑，銦和銀等。最大可放置樣品尺寸直徑為 40mm，膜厚可達(dá) 300 埃，特別適用于為 SEM 樣品鍍上金而作為導(dǎo)電極。
主要技術(shù)參數(shù)
上一個(gè)：直流輝光等離子體實(shí)驗(yàn)裝置
下一個(gè)：DHDP& DHIP 系列 射頻 CCP/ICP 薄膜沉積裝置
